Назад

Саєнко, В. А. Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів і термоіонному напиленні : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : спец. 05.27.02 «Вакуумна, плазмова і квантова електроніка» / Саєнко Володимир Антонович ; Національний технічний університет України “Київський політехнічний інститут”. - Київ, 1999. – 33 с.


Рік видання: 1999. Тип документу: Автореферат 
Розмір: 251 КБ     Кількість завантажень: 1